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金剛石膜中氮雜質(zhì)狀態(tài)的研究

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EA-CVD方法金剛石膜氮雜質(zhì)

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用EA-CVD(ElectronassistedChemicalVaporDeposition)方法制備出金剛石膜，并且用拉曼光譜、熒光譜、紅外吸收譜和順磁共振譜研究了金剛石膜中的氮雜質(zhì)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，用EA-CVD方法制備的金剛石膜中氮雜質(zhì)主要是以Ns0、Ns+、[N—V]0和[N—V]-1的形式存在，沒(méi)有檢測(cè)到在天然金剛石和高溫高壓金剛石中常見(jiàn)的A和B中心形式存在的氮雜質(zhì)。沉積實(shí)驗(yàn)中隨著氫氣流量的增加，也就是金剛石膜沉積環(huán)境中氮濃度的減少，金剛石膜中氮雜質(zhì)含量減少。

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2007-07-06 13:49:08

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