91精品xxx在线观看,天堂成人免费av电影一区,综合一区av

應用于微電子機械系統中多孔硅的研究

資料類型：

PDF文件

關鍵詞：

多孔硅微電子機械系統腐蝕速率孔隙率殘余應力

資料大小：

172K

所屬學科：

分子表征

來源：

2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）

簡介：

針對多孔硅在MEMS中作為犧牲層和絕熱層的應用，主要研究了電化學腐蝕法制備多孔硅的實驗條件與多孔硅深度及其孔隙率間的關系，實驗發現電化學腐蝕法制備多孔硅的腐蝕速率在腐蝕前期階段基本是一定值(電流密度為80mA/cm2時為1.3&micro；m/min,電流密度為40mA/cm2時為0.4&micro；m/min)，但到腐蝕后期階段隨著孔深的增加有所下降。同時發現對于不同的腐蝕電流密度，多孔硅的孔隙率都有隨腐蝕時間的延長先增加后降低的趨勢，用Beale模型可以很好的解釋這一現象。最后，針對多孔硅在制備后易發生龜裂的現象，用拉曼光譜分析了多孔硅的內部應力情況，結果表明隨多孔硅孔隙率的上升其內部殘余應力有增加的趨勢。

作者：

崔夢胡明雷振坤竇雁威田斌

上傳時間：

2007-07-12 12:18:01

下載次數：

616

消耗積分：

立即下載：

好

1人

中

1人

差

1人

友情提示：下載后對該資源進行評論，即可獎勵2分。

報告錯誤：

1.下載無效　 2. 資料明顯無價值　 3. 資料重復存在

相關評論 共有0人發表評論

更多評論

你還沒有登錄，無法發表評論，請首先

免責聲明：本站部分資源由網友推薦，來自互聯網，版權屬于原版權人，如果不慎侵犯到您的權利，敬請告知，我們會在第一時間撤除。本站中各網友的評論只代表其個人觀點，不代表本站同意其觀點。

最新上傳資料
·	關于發展我國材料科學技術的若干...
·	形狀記憶材料的新進展
·	功能晶體材料的發展
·	功能陶瓷材料研究的若干進展
·	紫外、深紫外非線性光學晶體的最...
·	土木工程結構智能感知材料、傳感...
·	新材料與功能材料的戰略地位、研...
·	一維納米材料中的新效應和新功能
·	自旋電子學功能材料
·	磁性納米顆粒膜微波物性研究
·	納米集成電路用大直徑硅及硅基材...
·	壓力及制備條件對大塊非晶合金結...
·	透明導電薄膜材料的研究與發展趨...
更多>>

熱點資料
·	轉爐煙塵制備氮化鐵磁性材料及其...
·	離子束濺射生長非晶Si薄膜的研究
·	稀磁半導體研究的最新進展
·	低電壓并五苯晶體管的制備
·	PECVD法制備微晶硅薄膜的研究
·	反應溫度對苯熱合成氮化硼納米晶...
·	聚砜類分離膜的研究進展
·	II-VI族化合物半導體中的晶體缺...
·	透明導電薄膜材料的研究與發展趨...
·	氮氣流量對電弧離子鍍TiN薄膜性...
·	電磁屏蔽導電涂料發展現狀
·	納米TiO2光催化劑可見光活性研...
·	鐵酸鋅-二氧化鈦納米復合膜的光...
更多>>

相關資料
·	基于環糊精的選擇性檢測多巴胺的...
·	應用黏彈性分析于預測射出產品之...
·	擠出口模結構對木塑微孔片材性能...
·	復合材料中增強粒子與基體的微觀...
·	低成本材料MEMS梁結構仿真開發...
·	后處理工藝對BST 薄膜殘余應力...
·	多孔硅襯底在RFIC 無源器件中的...
更多>>

国产精品igao视频网网址不卡日韩,亚洲综合在线电影,亚洲婷婷丁香,黄色在线网站噜噜噜