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低成本材料MEMS梁結(jié)構(gòu)仿真開發(fā)與制備流程

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關(guān)鍵詞：

微機(jī)電系統(tǒng) 有限元法多孔硅ANSYS 微波襯底

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所屬學(xué)科：

分子表征

來源：

2008年第十五屆全國(guó)復(fù)合材料學(xué)術(shù)會(huì)議(7.24-7.26，哈爾濱)

簡(jiǎn)介：

理論分析MEMS微波懸臂梁開關(guān)的材料與MEMS功能極為相關(guān)的若干特性，用物理機(jī)理支持了多孔材料之引入，以達(dá)到器件高性能和襯底低成本的兼顧，并給出了引入后的制備流程全覽；然后闡述了基于有限元方法的典型材料梁結(jié)構(gòu)的功能分析，即用ANSYS軟件對(duì)MEMS場(chǎng)分布進(jìn)行了模擬，經(jīng)過比較得出：MEMS開關(guān)懸臂閉合的驅(qū)動(dòng)臨界電壓值隨著金屬懸臂材料楊氏模量的增大而增大，隨著雙層結(jié)構(gòu)中兩種材料參數(shù)匹配度的增大而減小。

作者：

葛羽屏紀(jì)江明

上傳時(shí)間：

2008-09-23 17:16:41

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