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MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)

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關(guān)鍵詞：

MOCVD SnO2單晶薄膜藍寶石襯底

資料大小：

483K

所屬學(xué)科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡介：

用金屬有機物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）法在藍寶石(0001)襯底上制備出高質(zhì)量的氧化錫（SnO2）單晶薄膜。對制備薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)進行了研究。制備樣品具有純SnO2的四方金紅石結(jié)構(gòu)，其外延生長方向為SnO2(100)∥Al2O3(0001)。薄膜均勻、致密，具有很好的取向性和結(jié)晶性。透射譜測量結(jié)果表明，在可見光區(qū)薄膜的絕對透過率達到了90%以上。

作者：

馮先進，馬瑾，楊帆，欒彩娜

上傳時間：

2008-09-09 17:13:06

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