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基片上薄膜生長過程的計算機模擬 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
薄膜生長 沉積 計算機模擬 |
| 資料大小： |
462K |
| 所屬學科： |
模擬技術 |
| 來源： |
來源網絡 |
| 簡介： |
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根據薄膜的成核統計理論，考慮吸附粒子的碰撞、遷移、蒸發等因素，針對薄膜單層和多層核生長類型的生長，用計算機進行仿真模擬。同時研究了幾種因素對粒子沉積成膜的影響。根據計算機模擬情況，得出了粒子百分變化與成團粒子百分變化關系、生長過程對粒子沉積成膜的影響。論證了按成核理論下的隨機統計規律生成的多層粒子膜,其厚度方面的不均勻性與實際是一致的。并給出了計算機模擬研究薄膜微觀生長過程的立體圖象。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-09 13:36:59 |
| 下載次數： |
594 |
| 消耗積分： |
2
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