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PVD法制備多晶碘化汞膜的光電特性研究  
PVD法制備多晶碘化汞膜的光電特性研究
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 多晶  碘化汞  物理氣相沉積  探測(cè)器  
資料大?。?/td> 389K
所屬學(xué)科: 性能表征
來(lái)源: 來(lái)源網(wǎng)絡(luò)
簡(jiǎn)介:
用熱壁物理氣相沉積法(Hot-WallPVD)制備出晶體質(zhì)量較好的多晶HgI2膜,研究了生長(zhǎng)參數(shù)對(duì)沉積膜質(zhì)量的影響,對(duì)多晶HgI2膜用金相顯微鏡、XRD、紅外光譜進(jìn)行了表征觀察及對(duì)用多晶HgI2膜制備的探測(cè)器采用了暗電流測(cè)試;結(jié)果表明PVD法制備的多晶HgI2膜純度高,結(jié)構(gòu)完整性好,均勻性好,并且其相應(yīng)器件有低的暗電流(電場(chǎng)0.2V/μm時(shí),為25pA/mm2)。
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上傳時(shí)間: 2007-07-17 15:20:49
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