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Pt/Au/p-Si 濺射薄膜組織結構特征

資料類型：

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關鍵詞：

Pt/Au/p-Si 薄膜硅化物分布表面和界面結構

資料大小：

112K

所屬學科：

結構表征

來源：

來源網絡

簡介：

在p-Si襯底上，分別淀積5nmAu膜和5nmPt膜，形成Pt/Au/p-Si結構，500℃退火后形成硅化物薄膜。采用X射線光電子譜和X射線衍射譜研究薄膜成分和相分布，利用原子力顯微鏡和高分辨電子顯微鏡觀察薄膜表面形貌和界面結構。測試結果表明，薄膜中含有PtSi相和Au相，表面較平坦，PtSi相形成層狀結構，Au原子聚集成島狀結構。

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2007-07-13 15:12:42

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