老牛影视一区二区三区,国产精品porn,国产亚洲一区

HfO2薄膜的制備與光學性能

資料類型：

PDF文件

關鍵詞：

磁控反應濺射 HfO2薄膜沉積速率光學性能

資料大小：

338K

所屬學科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡介：

采用射頻磁控反應濺射法，以高純熱壓HfO2陶瓷為靶材，在Si襯底上成功制備出HfO2薄膜。系統研究了工藝參數對薄膜沉積速率的影響規律，并對薄膜的光學性能進行了研究。結果表明，射頻功率對薄膜沉積速率的影響最為明顯，O2/Ar流量比和襯底溫度對沉積速率的作用不明顯。所制備薄膜的折射率較高在近紅外波段趨于1.95，在500～1650nm波段范圍內薄膜幾乎無吸收，透過率較高。

作者：

劉文婷，劉正堂，許寧，鹿芹芹，閆鋒

上傳時間：

2008-09-09 17:01:27

下載次數：

消耗積分：

立即下載：

好

2人

中

1人

差

1人

友情提示：下載后對該資源進行評論，即可獎勵2分。

報告錯誤：

1.下載無效　 2. 資料明顯無價值　 3. 資料重復存在

相關評論 共有1人發表評論

更多評論

gutian 2010-03-03 15:59:16

好文章，正用得上

你還沒有登錄，無法發表評論，請首先

免責聲明：本站部分資源由網友推薦，來自互聯網，版權屬于原版權人，如果不慎侵犯到您的權利，敬請告知，我們會在第一時間撤除。本站中各網友的評論只代表其個人觀點，不代表本站同意其觀點。

最新上傳資料
·	可調的透明導電膜研究進展
·	電子紙顯示ITO電極保護層研究及...
·	THz量子級聯激光器的材料生長和...
·	退火條件對納米ZnO 電致發紅-橙...
·	無機薄膜電致發光器件中絕緣層材...
·	稀土摻雜氮化鎵的發光機理、制備...
·	p-Si TFT柵絕緣層用SiN薄膜的...
·	不同微觀形貌所引起的聚二氧乙撐...
·	具有雙摻雜發射層白光OLED器件...
·	新型雙向傳輸型區域規整噻吩嵌段...
·	樹枝狀8-羥基喹啉鋅的合成和熒光...
·	梯度摻雜LiF提高電子注入與傳輸...
·	噴霧熱解法合成球形(Y,Gd)BO3:E...
更多>>

熱點資料
·	剪切增稠液體的制備及其性能表征
·	Li4Ti5O12/C 復合負極材料的一...
·	有機光電導電材料PEDOT-PSS薄...
·	多孔吸聲材料發展現狀與展望
·	相變恒溫材料六水氯化鈣的研究
·	玻璃纖維增強阻燃PC/ABS 合金性...
·	木質素的結構及其改性研究進展
·	有機太陽能電池ITO 電極的光刻...
·	藍寶石襯底化學機械拋光的機理研...
·	TiO2 介孔光催化劑的制備研究進...
·	固體表面潤濕性機理及模型
·	陶瓷坯釉料配方優化系統的設計
·	微晶纖維素的制備及性質研究
更多>>

相關資料
·	聚酯/微納米二氧化硅復合材料的...
·	全共軛嵌段聚物的合成及表征
·	苝四甲酸仲醇酯的合成、光學性能...
·	新型高性能低成本聚合物光波導材...
·	利用催化鏈轉移聚合法制備量子點...
·	高透明性含磷氧基聚酰亞胺的合成...
·	合成條件對晶態介孔TiO2結構和...
更多>>

国产精品igao视频网网址不卡日韩,亚洲综合在线电影,亚洲婷婷丁香,黄色在线网站噜噜噜