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> 1-3 型壓電復合材料電極的制備
1-3 型壓電復合材料電極的制備
1-3 型壓電復合材料電極的制備
資料類型:
PDF文件
關鍵詞:
磁控濺射
電極
導電性能
附著力
資料大小:
253K
所屬學科:
分子表征
來源:
2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
采用磁控濺射工藝以Cu、Ag為靶材在1-3型壓電復合材料表面制備電極。研究了兩種金屬材料的濺射鍍膜工藝,系統地分析了濺射功率對金屬沉積速率、電極導電性能及附著力的影響。結果表明,兩種金屬的沉積速率隨濺射功率的增加呈線性增加,電極方阻及電阻率均隨功率增大而減小,濺射功率為100W時電極的附著力較好。
作者:
萬媛媛,李莉,王麗坤,秦雷,魏兵
上傳時間:
2008-09-01 11:41:32
下載次數:
40
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1
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liuhsh
2009-02-05 17:33:13
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