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> 并五苯場效應晶體管的研制
并五苯場效應晶體管的研制
并五苯場效應晶體管的研制
資料類型:
PDF文件
關鍵詞:
并五苯
場效應晶體管
xrd
afm
遷移率
資料大小:
290K
所屬學科:
分子表征
來源:
2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
以X射線衍射儀(XRD)研究了在硅表面形成并五苯多晶薄膜晶體結構,通過原子力顯微鏡(AFM)分析了在二氧化硅表面形成并五苯多晶薄膜的形貌。以熱氧化的硅片作為絕緣柵極,并五苯作為有緣層,采用底接觸結構,研制場效應晶體管。經過測試得到其場效應遷移率為1.23cm2/Vs,開關電流比>106。
作者:
陶春蘭,董茂軍,張旭輝,張福甲
上傳時間:
2008-08-27 16:31:39
下載次數:
42
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zfaj_2005
2009-03-20 16:51:43
挺好,內容有價值
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