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硅粉在冷等離子體中的刻蝕純化  
硅粉在冷等離子體中的刻蝕純化
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 粉粒表面刻蝕  刻蝕純化  太陽(yáng)級(jí)硅  直流冷等離子體  
資料大小: 511K
所屬學(xué)科: 分子表征
來(lái)源: 2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡(jiǎn)介:
介紹了一種用直流輝光放電產(chǎn)生的冷等離子體對(duì)硅粉刻蝕純化的方法。實(shí)驗(yàn)是在氬氣氛中進(jìn)行,結(jié)果表明硅粉純度可由97.66%提高到98.47%。處理后的硅粉還可進(jìn)行熔化-固化-粉碎再處理,因此是一種技術(shù)上可行的太陽(yáng)級(jí)硅制備新方法。文中還應(yīng)用反應(yīng)室鞘層厚度、硅粉沉降平均速度、考慮高能粒子刻蝕作用的刻蝕速率方程等進(jìn)行理論分析,結(jié)果顯示,在一定的工藝參數(shù)下,刻蝕提純是有效的。這也為粉體表面刻蝕研究提供了新的思路。
作者: 王家鑫,尹盛,王飛,王敬義
上傳時(shí)間: 2008-08-25 14:37:50
下載次數(shù): 40
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