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> 注硅對(duì)SIMOX 材料性能影響的研究
注硅對(duì)SIMOX 材料性能影響的研究
注硅對(duì)SIMOX 材料性能影響的研究
資料類型:
PDF文件
關(guān)鍵詞:
離子注入
simox
絕緣體上硅
總劑量輻射效應(yīng)
資料大小:
224K
所屬學(xué)科:
分子表征
來源:
2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡(jiǎn)介:
首先采用注硅的方法改進(jìn)SIMOX(注氧隔離)SOI(絕緣體上硅)材料,對(duì)硅注入在SIMOX材料的絕緣埋層中形成的納米硅團(tuán)簇的條件和納米團(tuán)簇的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了論述。并對(duì)埋層結(jié)構(gòu)與抗輻射性能的機(jī)理進(jìn)行了分析。最后,對(duì)利用注硅改進(jìn)的SIMOX材料制備的MOSFET的輻射特性進(jìn)行了報(bào)道。
作者:
賀威,張正選,田浩,楊惠,俞文杰,王茹,陳明,王曦
上傳時(shí)間:
2008-07-31 17:21:48
下載次數(shù):
45
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