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等離子振動反應室的研究

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通過對振動陰極反應室的研究，針對粉粒與金屬陰極接觸的問題，提出新的改進設計。采用射頻電源感應線圈，振動石英管內部放電的方式進行刻蝕。既有振動陰極反應室的效果，又避免摻入雜質，是一種可行的新反應室設計。

作者：

趙亮，尹盛，王敬義，趙伯芳

上傳時間：

2008-05-19 15:41:04

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