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鈣鈦礦型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多層膜的激光分子束外延生長研究

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關鍵詞：

激光分子束外延 SrTiO3/BaTiO3 多層膜反射式高能電子衍射原子力顯微鏡

資料大?。?/td>

155K

所屬學科：

分子表征

來源：

2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）

簡介：

用激光分子束外延技術在SrTiO3（001）襯底上外延生長SrTiO3/BaTiO3多層膜，通過反射式高能電子衍射（RHEED）原位實時監測并結合原子力顯微鏡（AFM），研究了不同基片溫度下所生長薄膜的表面平整度，利用X射線衍射（XRD）對外延薄膜進行了結構分析，結果表明薄膜具有二維生長模式，在基片溫度為380~470℃之間生長的薄膜具有原子級光滑，并且具有完全C軸取向。同時運用X射線光電子能譜（XPS）研究了薄膜界面的互擴散,結果表明降低制備薄膜時的基片溫度有利于減少互擴散。

作者：

姚海軍李燕羅佳慧姜斌鄧宏蔣書文

上傳時間：

2007-07-09 15:15:44

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