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CVD金剛石厚膜晶格缺陷分析 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
CVD金剛石膜 X射線衍射 晶格松弛 自退火 耐磨性能 |
| 資料大小： |
98K |
| 所屬學科： |
結構表征 |
| 來源： |
來源網絡 |
| 簡介： |
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應用X射線衍射儀的薄膜附件對熱絲化學氣相沉積金剛石厚膜的成核面和生長面進行分析，結果表明，金剛石厚膜的晶格常數從生長面到形核面沿深度方向是逐漸變小的。化學氣相沉積金剛石初期生長的晶體存在大量的空位等缺陷，晶格松弛，在金剛石膜持續生長過程中，形核面和膜內部在高溫下發生長時間的自退火，缺陷濃度下降，晶格松弛現象消除，晶格常數變小并趨于理論值。試驗表明，經長時間高溫自退火的金剛石厚膜比薄膜具有更高的耐磨性。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-11 14:03:06 |
| 下載次數： |
586 |
| 消耗積分： |
2
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