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高性能本征型超低介電常數聚酰亞胺的設計合成及機理研究
項目類別:國家自然科學基金面上項目
項目編號:51373204
項目規模:85萬
參與人員:張藝等
起止日期:2014.01.-2017.12
本項目針對目前半導體工業中超大規模集成電路領域所遇到的發展瓶頸,在本實驗室前期研究工作的基礎上,提出了高性能本征型超低介電常數聚酰亞胺材料的設計合成及機理研究的課題。擬通過合理的分子結構設計,合成一系列具有一定空間位阻效應和電子特性的新型二胺單體,進而制備具有優異耐熱性、可溶性和機械性能的高性能本征型超低介電常數聚酰亞胺材料;系統開展結構與性能關系的基礎研究,一方面從聚合物自由體積的角度,研究新型單體空間結構對聚合物凝聚態結構及介電性能的影響及規律,另一方面,采用量子化學從頭計算的方法,從分子水平上研究單體化學結構對聚合物分子內電荷轉移效應、分子極化率和介電性能的影響機理及規律,并指導單體及聚合物的結構設計。在此基礎上,探討其在超大規模集成電路柔性絕緣基材領域的應用研究。項目具有較強的應用背景,研究成果可為新一代高性能超低介電材料的開發奠定實驗基礎并提供理論依據,具有重要的理論和實際意義。
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