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吉林大學(xué)張彤教授團(tuán)隊(duì) AFM: Janus導(dǎo)電機(jī)制-實(shí)現(xiàn)超寬線性范圍壓力傳感器的創(chuàng)新策略
2024-04-06  來源:高分子科技

  柔性壓力傳感器在健康監(jiān)測(cè)與診斷、機(jī)械假肢和人機(jī)交互等關(guān)鍵醫(yī)學(xué)技術(shù)領(lǐng)域中起著重要的作用。在很多應(yīng)用場(chǎng)景中,高靈敏度和寬線性響應(yīng)范圍的柔性壓力傳感器是準(zhǔn)確捕捉壓力刺激信號(hào)的關(guān)鍵條件。對(duì)于具有多個(gè)線性區(qū)間的壓力傳感器,在實(shí)際應(yīng)用中需要額外的電路和信號(hào)處理來滿足不同的壓力負(fù)載范圍。此外,在傳感器封裝以及固定到皮膚表面時(shí),不可避免地存在預(yù)載壓力。例如,對(duì)于一些微弱的生理信號(hào),通常需要更高的預(yù)載壓力以最大程度地提取皮膚信號(hào)。預(yù)載壓力往往會(huì)超出高靈敏度的有效壓力范圍,降低傳感器對(duì)微小壓力刺激的感知能力。因此,寬線性響應(yīng)范圍內(nèi)具有高靈敏度的特性對(duì)于實(shí)現(xiàn)高壓力分辨率、高信噪比以及簡(jiǎn)化信號(hào)處理過程至關(guān)重要。


  目前,已報(bào)道的大多數(shù)電阻型壓力傳感器的有效檢測(cè)范圍主要集中在500 kPa內(nèi),包括2~3個(gè)線性區(qū)間,具有最高靈敏度的線性響應(yīng)范圍通常在200 kPa內(nèi),當(dāng)受到更大壓力負(fù)載時(shí)靈敏度會(huì)顯著下降。顯然,高靈敏度和寬檢測(cè)范圍之間存在著制約關(guān)系。為了克服這一限制,復(fù)雜的微觀多層結(jié)構(gòu)、梯度微納結(jié)構(gòu)界面及孔隙設(shè)計(jì)策略成功實(shí)現(xiàn)了超過1000 kPa的超寬檢測(cè)范圍和高靈敏度壓力傳感器。然而,構(gòu)建具有高精度和多維度的微納結(jié)構(gòu)往往需要精準(zhǔn)的技術(shù)和更高的加工成本,這些復(fù)雜的設(shè)計(jì)策略和制作工藝不利于傳感器的可重復(fù)性和可靠性。構(gòu)筑三維多孔結(jié)構(gòu)和多層微納結(jié)構(gòu)的方法導(dǎo)致了器件厚度增加,限制了傳感器對(duì)皮膚和復(fù)雜表面的最佳順應(yīng)性和附著能力。因此,現(xiàn)有的解決方案仍然存在制作工藝復(fù)雜、制作成本高和器件尺寸難以滿足需求等問題(圖 1所示),柔性可穿戴傳感器的實(shí)用化仍然具有挑戰(zhàn)性。


1. 本工作與已報(bào)道研究中寬量程電阻型柔性壓力傳感器比較:解決方案和設(shè)計(jì)策略、器件結(jié)構(gòu)、工藝復(fù)雜性、制作成本、器件厚度


  最近,吉林大學(xué)張彤教授團(tuán)隊(duì)提出了一種基于Janus導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的壓阻傳感器。該結(jié)構(gòu)由雙電阻敏感層組裝而成,電流傳輸路徑在寬量程內(nèi)由壓力引起的階段性轉(zhuǎn)變有效地緩解了傳感器電阻變化的飽和速率。所構(gòu)筑的壓力傳感器具有0-3800 kPa的超寬檢測(cè)范圍,在0-1000 kPa范圍內(nèi)具有4.11 kPa-1的高靈敏度和99.9%的線性度。與已報(bào)道的超寬量程的壓阻傳感器相比,該工作中傳感器表現(xiàn)出更高的靈敏度和更寬的線性響應(yīng)范圍。研究中選擇纖維素納米纖維(CNFs)紙作為基底,將CNFs/CNTs復(fù)合纖維紙作為敏感層,簡(jiǎn)單的材料制備和器件組裝工藝有效簡(jiǎn)化了制作工藝并降低了成本,傳感器具有200μm的超薄器件厚度以適應(yīng)形變。此外,在表面設(shè)計(jì)策略中采用的復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)極易在長(zhǎng)期重復(fù)和高強(qiáng)度機(jī)械壓力負(fù)載下發(fā)生老化,與立體的微納結(jié)構(gòu)界面設(shè)計(jì)相比,紙張?zhí)峁┝艘粋(gè)相對(duì)平坦的接觸界面從而避免類似問題的發(fā)生,傳感器能夠在高壓負(fù)載重復(fù)下,保持良好的穩(wěn)定性和耐久性。該工作提出了一種開創(chuàng)性的方法,實(shí)現(xiàn)了一種有效的兼顧電阻型柔性壓力傳感器敏感性能、器件體積和工藝成本的最佳解決方案。 


2. a)纖維素納米纖維(CNFs)是一種可以廣泛從植物中提取的生物聚合物bCNFs/PVACNFs/CNTs紙的照片cCNFsCNTs之比為1:51:15:110:115:1CNFs/CNTs紙的電導(dǎo)率比較;d)壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖;e)壓力傳感器的照片和傳感器的厚度僅約200μmfCNFs/PVA基材和電極,(g-iCNFsCNTs之比為1:55:115:1CNFs/CNTs紙的表面SEM圖像j,k)具有(j)單敏感層結(jié)構(gòu)和(kJanus導(dǎo)電敏感層結(jié)構(gòu)的壓力傳感器比較
 

3. 單敏感層(SSL)和Janus導(dǎo)電雙敏感層(DSL)結(jié)構(gòu)傳感器的壓力傳感性能比較:aSSL傳感器和(bDSL傳感器的電流響應(yīng)與壓力關(guān)系曲線cSSLDSL傳感器在0-500 kPa壓力范圍內(nèi)的線性度比較dSSL和(eDSL傳感器的初始電流(無壓力負(fù)載下)、最終電流(500kPa下)和最終響應(yīng)的比較fSSLDSL傳感器在0-500 kPa壓力范圍內(nèi)的靈敏度比較gDSL-4傳感器在0-3800 kPa的寬壓力范圍內(nèi)的電流響應(yīng)與壓力之間的關(guān)系曲線hi)本工作中的靈敏度、壓力檢測(cè)范圍和線性度與已報(bào)道文獻(xiàn)中壓力傳感器性能比較
 

4. DSL-4傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能:aDSL-4傳感器在不同壓力下的伏安特性曲線b)在不同壓力下的重復(fù)響應(yīng)曲線cDSL-4傳感器在300 kPa壓力下的響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間dDSL-4傳感器在頻率范圍為0.162.5 Hz300 kPa壓力下的動(dòng)態(tài)響應(yīng)曲線eDSL-4傳感器在3000 kPa下對(duì)重復(fù)壓力負(fù)載循環(huán)的響應(yīng)曲線fDSL-4傳感器在0-3800kPa范圍內(nèi)增加壓力的過程和減少壓力的恢復(fù)過程
 

5. DSL-4傳感器的高分辨率性能和壓敏機(jī)制:a-d)在0100020003000 kPa的不同初始參考?jí)毫ο聦?duì)小壓力(1N)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)曲線e-gDSL壓力傳感器在低、中高不同壓力范圍內(nèi)的壓力傳感機(jī)制示意圖、(h-j)響應(yīng)變化趨勢(shì)和(kl)等效電路
 

6. DSL-4傳感器的可穿戴應(yīng)用:a,b)佩戴血壓計(jì)袖帶時(shí)對(duì)橈動(dòng)脈信號(hào)的監(jiān)測(cè);c,d)從指尖捕獲的脈沖信號(hào)實(shí)時(shí)波形;e,f)通過將DSL-4傳感器固定到指關(guān)節(jié)來檢測(cè)手指彎曲角度g,h)區(qū)分在初始?jí)毫ο聦?duì)體重60 kg的受試者施加和移除500 ml瓶裝水的過程

7. 壓力傳感器陣列的設(shè)計(jì)及其在步態(tài)分析中的應(yīng)用:a4×11像素壓力傳感器陣列的結(jié)構(gòu)示意圖;b)無線足底壓力分布檢測(cè)系統(tǒng)照片;c)無線步態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)的組成部分;d)足部可分為三個(gè)區(qū)域:前掌、足中部和腳跟,以及相應(yīng)的足底壓力分布譜圖;e)下蹲過程中的足底壓力分布譜圖分為三種情況:前傾、居中和后傾f)一個(gè)完整步態(tài)周期的足底壓力分布譜圖,從跟足觸地到前掌觸地過程


  該工作以“Janus Conductive Mechanism: An Innovative Strategy Enabling Ultra-Wide Linearity Range Pressure Sensing for Multi-Scenario Applications”為題發(fā)表在國際著名期刊Advanced Functional Materials。吉林大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院鼎新博士后林修竹為第一作者,通訊作者為張彤教授和趙紅然副教授。上述工作是該團(tuán)隊(duì)近期關(guān)于可穿戴柔性傳感器的最新進(jìn)展之一。吉林大學(xué)微納傳感材料與器件實(shí)驗(yàn)室(SMDLAB)長(zhǎng)期致力于面向工業(yè)生產(chǎn)安全、環(huán)境污染、人體健康以及家居環(huán)境等領(lǐng)域的氣體、濕度、壓力、溫度、生物分子等傳感檢測(cè),開展微納米傳感材料的設(shè)計(jì)和制備、傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及應(yīng)用開發(fā)。相關(guān)成果還發(fā)表在ACS NanoNano EnergyBiosensors & BioelectronicsJournal of Hazardous MaterialNano-Micro Letters、、IEEE Electron Device LettersACS SensorsSensors and Actuators B:ChemicalACS Applied Materials & InterfacsSmallSmall Methods等期刊上。


  原文鏈接:https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/adfm.202316314


  課題組網(wǎng)站鏈接:http://smdlab.jlu.edu.cn

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