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    2008年6月3日，中科院計劃財務局在理化所組織了《BioMEMS基片快速成型系統的研制》項目的驗收。該項目是由高云華研究員負責承擔的中國科學院科研裝備研制項目，專家組聽取了研制工作報告、測試報告和財務報告，現場查看了儀器設備，查閱了相關技術文件后一致認為，該設備集成汞燈光源光纖傳導系統，MEMS微反射鏡陣列數字化成像技術和微平移技術，實現了無掩膜光刻，完成了基于新原理的設備研制，具有創新性和進一步深入研究升級改造的價值。儀器的各項指標均達到了研制合同的驗收指標要求，部分指標優于合同的驗收指標，納米生物集成技術研究組圓滿完成了項目任務規定的全部研究內容。

 

    2005年12月理化所承擔中國科學院科研裝備研制項目《BioMEMS基片快速成型系統的研制》，所領導和相關部門給予高度重視和積極配合，使項目順利按期完成。該項目是理化所在微器件研究平臺建設中的一個重要環節。在原有工作基礎上經過科學家們兩年多的艱苦努力，取得了突破性的進展。