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非傳統(tǒng)微納制備技術(shù)在駐極體研究中的應(yīng)用

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關(guān)鍵詞：

非傳統(tǒng)技術(shù) 聚合物有序組裝駐極體圖案化

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所屬學(xué)科：

分子表征

來源：

2010年兩岸三地高分子液晶態(tài)與超分子有序結(jié)構(gòu)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集（2010.8.23~26，鄭州）

簡(jiǎn)介：

非傳統(tǒng)微納制備技術(shù)主要是指軟刻蝕及其衍生的技術(shù)，與目前在微制造領(lǐng)域廣泛使用的光刻蝕技術(shù)相比,軟刻蝕的優(yōu)勢(shì)主要集中在過程簡(jiǎn)單，成本低，可以有效提高微制作的效率，并且能夠?qū)崿F(xiàn)平面和曲面上的微/納米圖案(1,2,3維)的微圖形轉(zhuǎn)移和微制造等方面。

作者：

曹廷炳*，薛面起，趙丹，馬欣蕾

上傳時(shí)間：

2011-01-18 14:07:14

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