新型VisionPad 3200及VisionPad 3500研磨墊在金屬研磨方面兼具軟、硬研磨墊之優(yōu)點。
中國上海，2007年7月12日 — 在全球半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)機械研磨（CMP）技術(shù)及創(chuàng)新方面處于領(lǐng)先地位的羅門哈斯電子材料公司CMP技術(shù)事業(yè)部近日宣布其VisionPad™研磨墊系列又增添了兩款新品。這兩款產(chǎn)品可提供世界級的低生產(chǎn)缺陷率，極高的研磨能力和更長的使用壽命。
產(chǎn)品亮點：
• VisionPad 3200可大幅降低生產(chǎn)缺陷率，并具備Politex™的標準研磨能力以及更長的銅阻障層研磨壽命。這些改進設(shè)計可增加客戶所在企業(yè)的產(chǎn)能，提高產(chǎn)量，減少停工時間。
• VisionPad 3500在銅阻障層研磨方面同時具備IC1000™的研磨效果和Politex™的低缺陷率水平。此外，它還適用于鎢研磨及銅清洗作業(yè)。
VisionPad 3200及VisionPad 3500專為需要使用高級金屬加工工藝的半導(dǎo)體制造商設(shè)計。這兩款研磨墊應(yīng)用獨特的化學(xué)研磨技術(shù)，可最大程度地減少晶圓上的劃痕、振紋及其他缺陷，從而提高晶粒產(chǎn)量。羅門哈斯在制造這兩種新型研磨墊時采用了已獲專利的聚氨酯配方，使其表面比傳統(tǒng)硬研磨墊更軟，可有效降低缺陷率，同時又具有必要的硬度，以確保一流的研磨性能。
VisionPad 3200及VisionPad 3500的使用壽命要長于傳統(tǒng)的軟研磨墊，與傳統(tǒng)硬研磨墊相當(dāng)，因此十分方便用戶在各種研磨機平臺上均衡使用，減少因研磨墊更換或條件限制而導(dǎo)致的停工時間。
“這些新產(chǎn)品代表著我們在研磨墊制造領(lǐng)域主要而及時的發(fā)展動向，”羅門哈斯電子材料公司CMP技術(shù)事業(yè)部副總裁Cathie Markham表示。“目前，我們的客戶正在向更高的制造工藝和節(jié)點遷移。相應(yīng)地，我們也在開發(fā)和推出特別設(shè)計的新品，以滿足客戶日益變化的研磨需求。”
與傳統(tǒng)的軟研磨墊不同，VisionPad 3200及VisionPad 3500的性能及配置可調(diào)。用戶可重新配置這兩款研磨墊的表面特性以獲得長期穩(wěn)定的最佳研磨效果。用戶可配置范圍包括這兩款研磨墊的多溝槽，子研磨墊及粘性配置。
羅門哈斯在VisionPad產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中應(yīng)用了SPC/SQC系統(tǒng)，以確保該系列產(chǎn)品的高質(zhì)量和穩(wěn)定性能。目前，這兩款新品已經(jīng)面市，供用戶試用。
